而提到材料学，就不得不提到奠定了日本在
密加工以及密芯片行业的统治地位的另一个基础产业，那就是光刻机。
光刻机是生产大规模集成电路的
心设备，制造和维护需要
度的光学和电
工业基础，世界上只有少数厂家掌握。因此光刻机价格昂贵，通常在3，000至5，0000万
元。
光刻机/紫外曝光机（maskaligner)又名：掩模对准曝光机，曝光系统，
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